该晶圆开发厂处在豫东各国，大部分产量85英寸半导晶圆，日访问量废污水的总量上涨约800吨。由产量全过程中安全使用很多盐酸完成晶圆蚀刻，促使废污池里氟化物浓硫酸浓度超过200-300mg/L，远超各国的废气规则（10mg/L如下）。 废水处理组分及因素 焦化废水最主要的出自几个重要环节： 晶圆蚀刻道工序 ：含高含量氟化物（HF）、氰化钠及一点巨资属 化学物质机械厂镜面抛光（CMP）焦化废水 ：含nm级硅科粒、生产络合剂 设施设备冲洗废液 ：含异丙醇、氟化物等有机化学物 处理方法流程步骤 选择"化学上的沉积+混凝土沉积+强度脱水"两级操作机系统： 4级处置 ：加药系统氯化钙和氢防氧化钙，生成氟化钙水解，氟化物我们要除率达85% 五级处置 ：移除PAC（聚合反应氯化铝）和PAM（聚乙烯塑料酰胺），消除溶液态废弃物物 二级解决 ：实现多有机溶剂滤过器和亲水性炭吸附性，满水后氟化物溶度不稳定性在8mg/L下面 重要机器设备也包括：pH自动式设定系统化、斜管凝固池、板框压滤设备（工业废水脱水过滤）。 决定效果好 項目工作六年监测站数据源表现： 氟化物均衡渗透压：7.2mg/L（达不到國家规范标准） COD祛除率：92% 污水水分含量率：≤65% 年环保再生资源共享回收氟化钙副服务约150吨，实行资源共享化利于