该厂为85英寸晶圆的自动化生产线配置的超超纯水模式,时刻导致含硅废水解决方法150吨。废水解决方法中虽无天价属,但硅含铁高易水垢,且电容率需提高18MΩ·cm就可以循环。原来解决生产工艺始终无法 够满足新公布的《手机化学工业水造成的摆放物摆放规则》(GB39731-2020)比较摆放最大限度。
工业废水组成优点
重点污染问题物
:固体硅(200-300mg/L)、粒状硅(颗粒直径0.1-1μm)
特俗标准要求
:TOC<10μg/L,硼浓度<5μg/L
生活饮用水因素
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅单质社会形态僵化
除理的工艺步骤步骤
多元化用"梯级膜分开+电去阴离子"三人组合技术:
微滤预处置
:1μm陶瓷图片膜屏蔽短信大粒子硅,通量保持80LMH
铝离子更换不饱和树脂
:D201大孔硅橡胶进行性降解硅酸分子结构
二次RO软件系统
:首个段再利用率60%,2、段应用高脱硼膜开关元件
EDI电去铁离子
:电流值密度计算2A/m²,不断地弄掉残存阴离子
UV紫外线除菌
:254nmUV紫外线服用量40mJ/cm²
技术应用不足之处
规划设计专门的阻硅剂(有机会胺类和好物),延长时间膜严重污染周期性3倍
EDI控制模块科学创新流道规划,硅清掉率升级至99.8%
再线硅深入分析仪器(量测比率0.1-500μg/L)实行脱贫保持
启用认真总结
经然后方检查测量:
总硅从280mg/L降为0.05mg/L
硼含锌量从8μg/L低于0.3μg/L
整体收废率从原40%升高至68%
膜换掉周期长减少至5年,年进行利润大大减少35%