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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为85英寸晶圆的自动化生产线配置的超超纯水模式,时刻导致含硅废水解决方法150吨。废水解决方法中虽无天价属,但硅含铁高易水垢,且电容率需提高18MΩ·cm就可以循环。原来解决生产工艺始终无法 够满足新公布的《手机化学工业水造成的摆放物摆放规则》(GB39731-2020)比较摆放最大限度。 工业废水组成优点 重点污染问题物 :固体硅(200-300mg/L)、粒状硅(颗粒直径0.1-1μm) 特俗标准要求 :TOC<10μg/L,硼浓度<5μg/L 生活饮用水因素 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅单质社会形态僵化 除理的工艺步骤步骤 多元化用"梯级膜分开+电去阴离子"三人组合技术: 微滤预处置 :1μm陶瓷图片膜屏蔽短信大粒子硅,通量保持80LMH 铝离子更换不饱和树脂 :D201大孔硅橡胶进行性降解硅酸分子结构 二次RO软件系统 :首个段再利用率60%,2、段应用高脱硼膜开关元件 EDI电去铁离子 :电流值密度计算2A/m²,不断地弄掉残存阴离子 UV紫外线除菌 :254nmUV紫外线服用量40mJ/cm² 技术应用不足之处 规划设计专门的阻硅剂(有机会胺类和好物),延长时间膜严重污染周期性3倍 EDI控制模块科学创新流道规划,硅清掉率升级至99.8% 再线硅深入分析仪器(量测比率0.1-500μg/L)实行脱贫保持 启用认真总结 经然后方检查测量: 总硅从280mg/L降为0.05mg/L 硼含锌量从8μg/L低于0.3μg/L 整体收废率从原40%升高至68% 膜换掉周期长减少至5年,年进行利润大大减少35%

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