佛山某光电器件心片手工生产商,晶圆鑫霖环保全过程中形成含硅、氟的特别生产电镀废水,设计的正确清理产值1200吨/日。生产电镀废水成份复杂化,具有微米级硅小粒及盐酸,传统的正确清理手段没办法及格。
废污水营养成分及来自
常见被污染源
:氢氧化铁硅(100-500nm比表面积)、氟铝离子(200-300mg/L)、异丙醇
原因环节
:晶圆刻蚀污水(45%)、CMP物理化学设备抛光处理污水(40%)、设备清洁水(15%)
治理技艺步骤
科技创新使用"药剂学滤渣+特种车辆膜隔离"新技术路线图:
钙盐水解
:污泥脱水氯化钙祛除氟阴阳离子(制成CaF2放置)
斜板沉淀池发应
:挽回斜管沉淀池剂保证电解质溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm管径膜虚报冒领微细粒状
反渗透膜工作会更体系
:脱盐率>98%,回收分类处理率75%
减压蒸馏结晶体
:浓水段推动氟化物达标排放量
最中视觉效果
氟化物溶液浓度:<8mg/L(底于祖国五级的标准10mg/L)
硅分量:<5mg/L
水网络资源工业废水处理率:70%使用空气方形冷却塔皮肤补水
危险废弃物减量化:多效蒸发渣滓量较中国传统方法减低60%